LPMS-300 双工位加工系统

LPMS-300 是一款集成核心功能模块的双工位激光精密加工设备,融合高精度电动位移台、高速振镜扫描模块、显微聚焦直写模块及 LFB-MARK 专用激光加工软件,构建起高效协同的加工体系。该系统可灵活搭载于光学平台,完美兼容客户现有激光器,支持多波长灵活引入,能精准适配宏观加工与微区加工等不同应用场景。凭借卓越的系统灵活性与强大的扩展升级能力,可轻松响应新的应用需求,是科研探索、工艺研发及实验测试的优选设备。

产品说明

        LPMS-300 是一款集成核心功能模块的双工位激光精密加工设备,融合高精度电动位移台、高速振镜扫描模块、显微聚焦直写模块及 LFB-MARK 专用激光加工软件,构建起高效协同的加工体系。该系统可灵活搭载于光学平台,完美兼容客户现有激光器,支持多波长灵活引入,能精准适配宏观加工与微区加工等不同应用场景。凭借卓越的系统灵活性与强大的扩展升级能力,可轻松响应新的应用需求,是科研探索、工艺研发及实验测试的优选设备。

产品参数

关键产品参数
工作波长
1030 (1064) nm、515 (532) nm、343nm(可选配,适配不同材料加工需求)
行程范围XYZ 300×300×100mm(支持定制其他行程规格,满足个性化加工空间需求)
直写模块采用同轴成像设计,激光焦点与显微成像共焦,成像清晰精准,保障微区加工精度
物镜配置配备 5X、10X、20X、50X 可见近红外物镜,可根据加工精度需求灵活切换,适配不同放大倍数加工场景
振镜模块搭载 SCANCUBE 高性能振镜,搭配 F100 场镜,支持同轴成像,扫描速度快、定位精度高,提升加工效率与质量
测距模块测量范围达 10mm,分辨率≤0.1μm(可选择其他规格配置)





产品核心特点

  1. 适配标准光学平台安装,兼容客户现有激光器配置,支持多波长灵活引入,适配多元激光加工需求;

  2. 集成振镜扫描与物镜微区直写双模式,支持软件一键切换,操作便捷高效,覆盖不同加工精度要求;

  3. 兼容纳米级分辨率位移台 / 气浮台,从硬件层面保障加工定位精度,满足高精度加工场景需求;

  4. 加工范围全面覆盖宏观尺寸与微观尺寸,打破加工尺度限制,适配多领域加工应用;

  5. 支持 2D、3D 多元加工模式,兼容多格式文件导入与实时预览功能,简化加工流程,提升操作便捷性;

  6. 搭载所见即所得机器视觉系统,加工过程可视化、定位精准化,有效降低操作难度,提升加工成功率;

  7. 支持电动偏振调节与能量精准调控,兼容 SLM 相位图耦合功能,为复杂加工场景提供技术支撑;

  8. 具备加减速去除功能与两轴 PSO 功能,优化加工轨迹与速度控制,兼顾加工效率与加工质量。

产品尺寸图


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产品信息

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