产品说明
系统定位：多工位科研级飞秒激光加工系统
功能模块：显微振镜加工模块、微区聚焦直写模块、宏观振镜加工模块（支持软件切换）
适配特性：可搭载于光学平台，兼容客户现有激光器，支持多波长接入核心产品特点
产品参数
| 关键产品参数 | |
| 工作波长 | 1030 (1064) nm、515 (532) nm（可选配置） |
| 行程范围 | XYZ 轴 250×250×100mm（支持其他行程定制） |
| 直写模块 | 采用同轴成像设计，激光焦点与显微成像共焦，保障直写精度 |
| 物镜配置 | 5X、10X、20X、50X 可见近红外物镜，满足不同放大倍数加工需求 |
| 成像方式 | 同轴照明成像，成像清晰稳定 |
| 测距模块 | 测量范围 10mm，分辨率≤0.1μm（支持其他规格可选） |
产品核心特点
平台兼容与波长适配：支持安装至光学平台，完美兼容客户现有激光器，同时支持多波长引入，适配不同加工场景需求；
多模式加工切换：通过软件即可便捷切换显微振镜扫描、宏观振镜扫描、物镜微区直写三种加工模式，操作高效便捷；
高精度运动平台：配备高分辨率精密位移台 / 气浮台，为加工精度提供可靠保障；
全尺寸范围覆盖：支持宏观尺寸与微观尺寸加工，兼顾不同尺度的加工需求；
多维加工与文件兼容：可实现 2D、3D 加工，支持多格式文件导入及实时预览，提升加工准备效率；
可视化精准定位：搭载所见即所得机器视觉系统，加工定位更精准、操作更直观；
灵活参数调控：支持电动偏振调节、能量调节，同时兼容 SLM 相位图耦合功能，适配复杂加工工艺；
高效加工保障：具备加减速去除、两轴 PSO 功能，有效提升加工效率与加工质量。
产品尺寸图
上海市嘉定区惠平路77号2栋
18930549590
Qin.Jianan@zloetech.com
周一到周五9：00-18：00
