LPMS-DCA100-双工位加工系统
功能模块：显微振镜加工模块、微区聚焦直写模块、TGV 加工头
驱动平台：高精密气浮电动台
适配特性：可搭载于光学平台，兼容客户现有激光器，支持多波长接入
驱动平台：高精密气浮电动台
适配特性：可搭载于光学平台，兼容客户现有激光器，支持多波长接入
产品说明
功能模块：显微振镜加工模块、微区聚焦直写模块、TGV 加工头
驱动平台：高精密气浮电动台
适配特性：可搭载于光学平台，兼容客户现有激光器，支持多波长接入
产品参数
| 关键产品参数 | |
| 工作波长 | 标配 1030 (1064) nm，可选配 515 (532) nm |
| 行程范围 | XYZ 轴 100×100×15mm（支持定制其他行程规格） |
| 直写模块 | 采用同轴成像设计，激光焦点与显微成像共焦，保障加工精度 |
| 物镜配置 | 5X、10X、20X、50X 可见近红外物镜 |
| 成像方式 | 同轴照明成像，成像清晰、细节还原度高 |
| 测距模块 | 660nm 显微自动聚焦模块，精度≤1/2 景深，聚焦精准快速 |
产品核心特点
灵活适配：支持安装在光学平台，兼容客户现有激光器，可灵活引入多波长，适配多样化加工需求；
多功能加工：涵盖显微振镜扫描、物镜微区直写、玻璃打孔等核心功能，支持 2D/3D 加工模式，适配多格式文件导入与实时预览，操作便捷高效；
高精度保障：配备高分辨率精密气浮台，搭配显微自动聚焦测距模块，定位精准、运行稳定；
智能操控：搭载所见即所得机器视觉系统，直观呈现加工状态；支持电动偏振调节、能量精准调控，可实现 SLM 相位图耦合，满足精细加工要求；
高效加工：具备加减速去除功能及两轴 PSO（位置同步输出）功能，优化加工轨迹，提升加工效率与质量。
产品尺寸图
上海市嘉定区惠平路77号2栋 
18930549590 
Qin.Jianan@zloetech.com 
周一到周五9：00-18：00