MS系列 显微电动 位移台

该系列为使用直线电机的直驱定位系统,由双导轨、直线电机、光栅尺位置反馈和外壳防护组成,内部结构紧凑、高性能直驱模组;
标准模组内置的直线电机、编码器位置反馈可选;
采用无铁芯直线电机模组可以做到无齿槽力;
采用交叉滚柱导轨,适合轻载,低速高精度定位相关应用。

产品说明

  • 行程100x75mm

  • 防蠕动精密交叉滚柱导轨

  • 无铁芯直线马达

  • 高精度光栅尺(可选模拟量,数字量)


规格、参数
电机无铁芯直线电机
尺寸271x265x34 (mm @长宽高)
电机推力10N(持续推力)、40N(峰值推力)
电流1.7A(持续电流)、6.7A(峰值电流)
自重3.7kg
精度等级N
双向重复精度±0.3μm
水平直线度±2μm
垂直直线度±2μm
行程100x75mm @ XY
分辨率模拟量(40μm/4096x)、数字量
额定负载3kg
最大速度100mm/s


  • 该系列为使用直线电机的直驱定位系统,由双导轨、直线电机、光栅尺位置反馈和外壳防护组成,内部结构紧凑、高性能直驱模组;

  • 标准模组内置的直线电机、编码器位置反馈可选;

  • 采用无铁芯直线电机模组可以做到无齿槽力;

  • 采用交叉滚柱导轨,适合轻载,低速高精度定位相关应用。


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产品信息

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